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电子束光刻胶

产品概述

        类型

光刻胶型号

厚度范围

分辨率

适用工艺

 

 

 

电子束光刻胶

HSQXR

85nm~180nm

6nm

高分辨率负胶，抗刻蚀

Z520

0.05-1

10-50nm

高分辨率电子束正胶,抗刻蚀

EBL 6000

0.1-1.5

50nm

负性电子束光刻胶

ma-N2400 

0.1-1.5

30nm

负性电子束光刻胶

 

 

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