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在衬底和光刻胶膜之间的做抗反射层(底层抗反射涂层,BARC)使从衬底反射的光强度最小化,从而使与干扰相关的sin^2光强度分布的振幅最小化。
AZ BARLi II有两种厚度等级(90纳米和200纳米),便于在第一或第二反射率最小值处确定薄膜厚度。
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