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光谱椭偏仪测试（n-k和膜厚）

创建时间：2025-10-13 14:40
光谱椭偏仪测试-n-k和膜厚
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设备品牌：J.A.Woollam

型号：RC2 D

 

主要技术参数：

波长：193-1000nm

样品台：200mm×200mm

 

主要用途：

用于测量光刻胶、SiO2、SiNx、ITO等各类薄膜的光学常数n&k和薄膜厚度。

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