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电阻率 方块电阻测量（电阻率 方块电阻 晶圆TTV）

创建时间：2025-10-13 14:40
电阻率方块电阻测量-电阻率方块电阻晶圆TTV
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设备品牌：E+H Metrology

型号：MX 608

 

主要技术参数：

测量原理：涡流非接触测量（电阻率），电容法（厚度）

电阻率范围：1 mΩ•cm-200 Ω•cm

方块电阻：1mΩ/sq-4000 Ω/sq

样品台：200mm×200mm

 

主要用途：

用于测量SiC，Si衬底厚度/TTV及电阻率、金属薄膜电阻率/方块电阻。

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