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无掩膜光刻技术（激光直写）激光直写技术是一种无掩模、适用面广、性价比高的微纳米加工手段，目前已经广泛应用于微机电系统、掩模板、微流控、微纳光学器件、超材料等微纳米制造领域。
05-15 2023
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薄膜应力及翘曲度测量的基本原理薄膜应力的产生在硅片等基板上镀膜时，镀膜一般为升温过程，当基板冷却后由于基板和薄膜的热膨胀系数不同，导致薄膜产生拉伸或压缩，产生弯曲，从而产生应力。为什么要监控薄膜应力对于工艺工具的监测，优化和匹配以实现产量最大化，需要对关键薄膜层进行应力测量。CVD/PVD机台调试···
03-03 2023
