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产品时间:2023-03-13 14:13:58
简要描述:
产品名称:接触式DUV曝光装置品牌:LTJ型号:WEX-193MCE关键词:ArF、KrF、接触曝光一、简介 LTJ公司成立于1993年10月,提供光刻领域所需的技术和产品,为DUV光刻胶研发及验证提供低成本解决方案。WEX-193MCE是一款实验型接触式ArF曝光装置,并且可以拓展KrF光源。二、技术规格 &nb...
产品名称:接触式DUV曝光装置
品牌:LTJ
型号:WEX-193MCE
关键词:ArF、KrF、接触曝光
一、简介
LTJ公司成立于1993年10月,提供光刻领域所需的技术和产品,为DUV光刻胶研发及验证提供低成本解决方案。WEX-193MCE是一款实验型接触式ArF曝光装置,并且可以拓展KrF光源。
二 、技术规格
基板尺寸:4寸
Mask尺寸:5寸
曝光载台
光源:ArF 193nm(KrF 248nm可选)
CD解析度:200nm
三、应用
适用于DUV光刻胶研发及验证。
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接触式DUV曝光装置
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