网站导航

非接触电阻率测试仪

当前位置:首页 >> 产品展示 >> 电性测量 >> 非接触电阻率测试仪

全自动非接触电阻率测试仪 MX608-RA-1C

产品时间:2023-01-04 21:36:36

简要描述:

德国 E+HMetrology,简称E+H,成立于1968年,位于德国卡尔斯鲁厄。E+H专注于半导体行业、微电子、机械工程等领域表面量测设备定制化开发。MX608 设计用于表征硅晶圆、碳化硅等。它结合了非接触式厚度、电阻...

详细介绍

产品名称:全自动非接触电阻率测试仪

品牌:E+H Metrology

型号:MX608-RA-1C

关键词:非接触电阻率/方块电阻、厚度、TTV

 

一、简介

德国 E+H Metrology,简称E+H,成立于1968年,位于德国卡尔斯鲁厄。E+H专注于半导体行业、微电子、机械工程等领域表面量测设备定制化开发。MX608 设计用于表征硅晶圆、碳化硅等。它结合了非接触式厚度、电阻率和 P/N 点传感器。

 

MX60 Series Auto.jpg

二、技术规格

晶圆尺寸:4/5/6/8

厚度范围:500-800 μm(300-600 μm可选)

最大Warp 100 μm

支持SECS/GEM 200

传输系统:单臂搬运机器人+Aligner+晶圆装载台

电阻率:0.001  200 Ohmcm

 

厚度测量

准确性:±0.3 μm

TTV准确性:±0.1 μm

精度:±0.05 μm

 

电阻率测量:

精度   0.001  30 Ohmcm    ±1 %

         30 - 100 Ohm•cm      ± 2 %

         100 - 200 Ohm•cm    ± 5 %

 

测试时间:

1 Point (center)            7 s

1 Scan for 8” = 180 points        10 s

18 Scans each 10° for 8” = 3240 points     ca. 3 min

三、应用

可测硅片,SiC GaN等各类导电衬底和绝缘衬底导电外延,厚度+TTV+电阻率(Mapping)

image004(10-30-16-37-22).png



 


产品咨询

留言框

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 留言内容:

上一篇:非接触电阻率测试仪 MX608

下一篇:没有了!

推荐产品

如果您有任何问题,请跟我们联系!

联系我们

Copyright © 2022 上海求峰仪器设备有限公司 沪ICP备2022031662号-1    

地址:上海市闵行区兴梅路1199弄40号楼

在线客服 联系方式 二维码

服务热线

13651773242

扫一扫,关注我们