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产品名称：四探针测试仪
品牌：Four Dimensions（4D）
型号：280SI/333A
关键词标签：方块电阻、四探针、电阻率
一、简介
美国Four Dimensions,Inc, 简称“4D”，成立于1978年，位于美国加州硅谷的Hayward, 4D公司专注于四探针设备和CV测试仪的生产和销售，累计销量达1000台以上，遍布世界各大半导体Fab, 太阳能光伏企业，大学及科研机构，“4D”更是俨然已成为四探针的代名词。
二、技术规格
测量尺寸：晶圆尺寸：2-8寸（333系列可测量至12寸晶圆）
测量范围： 0.001Ω/sq 至 800000Ω/sq（标准型）；
可往下扩展至：0.0001Ω/sq，往上扩展至8E9或8E11Ω/sq。
测量方式：电脑程序自动测量，或不连电脑单测量主机也可实现测量和数据显示，此时非常适合测试不规整样片单点测量，适合实际研究需要。
测量的数据：方块电阻/电阻率/薄膜厚度，根据具体应用可以设置不同测量程序。
测量的点数：程序编排任意测量点位置及测量点数量，对应不同客户不同测量要求任意编程测量点位置与数量。
测量的精确度：<0.1% （标准模阻）；
测量重复性：<0.2% （特定片子）；
测量速度：>45点/分钟；
测量数据处理：根据需要显示2D，3D数值图，或按要求统计并输出Excel格式文件；
边缘修正：具有边缘修正功能，即片子边缘3mm以内区域都能测量；
探针压力可调范围：90-200克之间可调；
可供选择的探头类型：根据测试不同工艺要求有A, B,K, M, N等相关型号探头选择。
三、应用
应用于金属镀膜和扩散，离子注入等掺杂工艺监控调试，薄膜电阻率或厚度测量等工序。
