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产品名称：单点晶圆厚度测试仪
品牌：E+H Metrology
型号：MX3012
关键词：单点测厚，厚度，TTV
一、简介
德国 E+H Metrology，简称E+H，成立于1968年，位于德国卡尔斯鲁厄。E+H专注于半导体行业、微电子、机械工程等领域表面量测设备定制化开发。拥有超过54年开发经验保证了E+H产品能做到低产品成本、很长的使用寿命以及极低的维护和支持要求，提供可以想象到的成本/效益比。MX30 Series是采用电容探头测量晶圆厚度、翘曲度等几何特性的单点手动晶圆测量系统。
二 、技术规格
MX 3012
动态测量范围：800 µm
厚度范围：200-1000 µm
MX3014
Framed and unframed wafers
晶圆尺寸：3-12 inch
精度：±0.5µm
分辨率：10nm
三、应用
适用于75-300mm硅晶圆的简易单点测厚仪。
