OLS5100/5500激光共聚焦显微镜
产品名称：激光共聚焦显微镜
品牌：Evident（原Olympus）
型号：OLS5100/5500
关键词标签：共聚焦显微镜，光学轮廓仪，3D显微镜
一、简介
OLS5100激光显微镜专为失效分析和材料工程研究而设计，将出色的测量精度和光学性能与智能工具相结合，使显微镜使用起来更加方便。 它可以快速高效完成亚微米级形貌和表面粗糙度的精准测量。
二、技术规格
| 型号 | OLS5100-SAF | OLS5100-SMF | OLS5100-LAF | OLS5100-EAF | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 综合倍率 |
54x ～ 17280x |
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| 视场 |
16 µm ～ 5,120 µm |
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| 测量原理 | 光学系统 | 反射型共聚焦激光扫描（激光）显微镜 反射型共聚焦激光扫描（激光-DIC）显微镜 彩色 彩色-DIC |
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| 光接收元件 | 激光：光电倍增管（2通道） 彩色：CMOS彩色相机 |
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| 高度测量 | 显示分辨率 | 0.5 nm | ||||
| 动态范围 | 16位 | |||||
| 可重复性σn-1 | 5X：0.45μm，10X：0.1μm，20X：0.03μm，50X：0.012μm，100X：0.012μm | |||||
| 准确度 | 0.15 + L/100 μm（L：测量长度[μm]） | |||||
| 拼接图像准确度 | 10X：5.0+L/100 μm；20X或更高：1.0+L/100 μm（L：拼接长度[μm]） | |||||
| 测量噪声（Sq噪声） | 1 nm（典型值） | |||||
| 宽度测量 | 显示分辨率 | 1 nm | ||||
| 可重复性3σn-1 |
5X：0.4μm，10X：0.2μm，20X：0.05μm，50X：0.04μm，100X：0.02μm |
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| 准确度 | 测量值+/- 1.5% | |||||
| 拼接图像准确度 | 10X：24+0.5L μm；20X：15+0.5L μm；50X：9+0.5L μm；100X: 7+0.5L μm（L：拼接长度[mm]） | |||||
| 单次测量时Max测量点数量 |
4096 × 4096像素 |
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| Max测量点数量 |
3600万像素 |
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| XY载物台配置 | 长度测量模块 | • | 不适用 | 不适用 | • | |
| 工作范围 |
100 × 100 mm电动 |
100 × 100 mm 手动 |
300 × 300 mm 电动 |
100 × 100 mm 电动 |
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| Max样品高度 |
100 mm |
40 mm |
37 mm |
210 mm |
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| 激光光源 | 波长 | 405 nm | ||||
| Max输出 | 0.95 mW | |||||
| 激光分类 | 2类（IEC60825-1：2007，IEC60825-1：2014*6 | |||||
| 彩色光源 | 白光LED灯 | |||||
| 电气功率 | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | ||
| 质量 | 显微镜主体 | 约重31 kg | 约重32 kg | 约重50 kg | 约重43 kg | |
| 控制盒 | 约重12 kg | |||||
三、应用
用于材料加工表面轮廓与形状的全面三维表征测试与分析。
可获得被观测样品的微观二维形貌图像、微观三维形貌图像、微观三维轮廓与地形图像。将采样数据运算后,可获得线宽、面积、体积、台阶、线与面粗糙度和平面几何参数等测量数据。
其应用领域非常广泛，主要为样品微观表面3D观察和测量，样品包括太阳能电池、MEMS（微电子机械系统）、半导体、晶体、液晶、金属材料、陶瓷、化学材料等。
