工业检查显微镜MX63(半导体显微镜)
产品名称：工业检查显微镜MX63(半导体显微镜)
品牌：Evident（原Olympus）
型号：MX63/63L
关键词标签：显微镜、表面缺陷、缺陷检测、缺陷分析
一、简介
MX63和MX63L显微镜系统经过优化，适用于尺寸300 mm及其以下的晶圆、平板显示器、电路板以及其他大尺寸样品的高质量检测。MX63系列的各种观察功能可生成清晰锐利的图像，让用户能够对样品进行可靠的缺陷检测。全新照明技术和PRECiV图像分析软件的图像采集选项为用户评估样品和记录结果提供了更多选择。
MIX观察技术通过将暗场与明场、荧光或偏振光等其他观察方法相结合，生成独特的观察图像。MIX观察技术使用户能够查看使用传统显微镜难以看到的缺陷。暗场观察所用的环形LED照明器具有在指定时间仅使用一个象限的定向暗场功能。该功能可减少样品光晕，对于样品表面纹理的可视化非常有用。
二、功能
l 主要功能
1. 观察和分析材料、器件、芯片等样品微观结构和缺陷；
2. 对物体结构、表面特征及缺陷进行多角度观察。
| MX63 | MX63L | ||
| 光学系统 | UIS2光学系统（无限远校正系统） | ||
| 显微镜镜架 | 反射光照明 | 白光LED（带光强度管理器）12 V 100 W卤素灯，100W汞灯，光导 明场/暗场/反射镜分光镜组件手动切换。（反射镜分光镜组件为选配件。） 通过手动操作调整3位编码分光镜组件 内置电动孔径光阑（针对所有物镜预设，暗场自动完全打开） 观察模式：明场、暗场、微分干涉对比度（DIC）*1、简易偏振光*1、荧光*1、红外和MIX观察（4个定向暗场）*2 *1 选配分光镜组件，*2 需使用MIX观察配置 |
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| 透射光照明 | 透射光照明装置：需使用MX-TILA或MX-TILLB。 - MX-TILLA：聚光镜（数值孔径 0.5）和孔径光阑 - MX-TILLB：聚光镜（数值孔径 0.6）、孔径光阑和视场光阑 光源：LG-LSLED（LED光源）光导：LG-SF 观察模式：明场、简易偏振光 |
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| 对焦 | 行程：32 mm 每转行程微调：100 μm 步进分度：1 μm 配上限限位器和粗调手柄扭矩调节 |
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| 载荷重量（包括载物台和支架） | 8 kg | 15 kg | |
| 观察筒 | 宽视场（FN 22 mm） | 正像三目镜筒：U-ETR4 正像可调倾角三目镜筒：U-TTR-2 倒像三目镜筒：U-TR30-2、U-TR30IR（用于红外观察） 倒置双目镜筒：U-BI30-2 倒像可调倾角双目镜筒：U-TBI30 |
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| 超宽视场（FN 26.5 mm） | 正像可调倾角三目镜筒：MX-SWETTR（光程切换100% [目镜]：0 [相机] 或0：100%） 正像可调倾角三目镜筒：U-SWETTR（光程切换100% [目镜]：0 [相机] 或20%：80%） 倒像三目镜筒：U-SWTR-3 |
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| 电动物镜转换器 |
明场 明场和暗场 |
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| 载物台（X x Y） |
带内置离合驱动的同轴右手柄：MX-SIC8R 带内置离合驱动的同轴右手柄：MX-SIC6R2 |
带内置离合驱动的同轴右手柄：MX-SIC1412R2 行程：356 x 305 mm 透射光照明区域：356 x 284 mm |
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| 重量 | 约35.6kg（显微镜镜架26kg） | 约44kg（显微镜镜架2 | |
三、应用
1. 透明/非透明材质表面缺陷检测
2. 多个应用领域，如硅片、AR/VR、Glass、光掩模版、蓝宝石、Si wafer等
