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设备品牌：RION
型号：KS-41A
主要技术参数：
粒径范围：0.1um-0.5um
出厂设定通道:0.1 / 0.15 / 0.2 / 0.3 / 0.5um ，可自行扩充至10Channels
光源：镭射二极管（波长 532nm,输出功率:500mW）
可测试粒子浓度：9600 颗/mL（0.15um 的误差值在 10%以内）
主要用途：
用于检测光刻胶、SOG、BARC、有机溶剂等材料中的颗粒数量。
