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膜厚仪测试（膜厚及反射率）

创建时间：2025-10-13 14:40
膜厚仪测试-膜厚及反射率
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设备品牌：Filmetrics

型号：F50-UVX

 

主要技术参数：

波长：190-1700nm

膜厚测量范围：10nm-100um

样品尺寸：8寸及以下

 

主要用途：

用于测量光刻胶、SiO2、SiNx、ITO等各类薄膜的反射率和薄膜厚度mapping。

 

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