自动mapping膜厚仪 SR-Mapping

产品名称：自动mapping膜厚仪

品牌：颐光Eoptics

型号：SR-Mapping

关键词标签：mapping膜厚仪、反射率、n&k

一、简介

SR-Mapping 系列利用反射干涉的原理进行无损测量，通过分析薄膜表面反射光和薄膜与基底界面反射光相干涉形成的反射谱，同时搭配R-Theta位移台，兼容6到12寸样品，可以对整个样品进行快速扫描，快速准确测量薄膜厚度、光学常数等信息，并对于膜厚均匀性做出评价。

二、技术规格

测量参数：反射率、膜厚、n&k等参数

波长：380-1000nm（可扩展190nm-1650nm）

膜厚范围：15nm-70μm

测量时间：5点5s，25点14s，56点26s

重复性测量精度：<0.05nm

测量精度：0.2%或2nm取较大值

光斑尺寸：标准光斑1.5mm

样品台尺寸：标配8寸（12寸可选）

三、应用

广泛应用于各种介质膜、光刻胶等有机薄膜、无机薄膜、金属膜、涂层等薄膜厚度mapping及均一性测量。