接触式DUV曝光装置

产品名称：接触式DUV曝光装置

品牌：LTJ

型号：WEX-193MCE

关键词：ArF、KrF、接触曝光

一、简介

      LTJ公司成立于1993年10月，提供光刻领域所需的技术和产品，为DUV光刻胶研发及验证提供低成本解决方案。WEX-193MCE是一款实验型接触式ArF曝光装置，并且可以拓展KrF光源。

二 、技术规格

       基板尺寸：4寸

      Mask尺寸：5寸

      曝光载台

      光源：ArF 193nm（KrF 248nm可选）

      CD解析度：200nm

三、应用

      适用于DUV光刻胶研发及验证。